Фізико-технологічні основи субмікронної технології великих інтегральних схем СП Новосядлий Івано-Франківськ, Сімик–2003, 351С.(монографія), 2003 | 50 | 2003 |
Суб-і наномікронна технологія структур ВІС СП Новосядлий Івано-Франківськ: Місто НВ 456, 2010 | 41 | 2010 |
Суб-наномiкрона технологiя структур ВIС СП Новосядлий Iвано-Франкiвськ, Мiсто НВ., 254, 2010 | 11 | 2010 |
Фiзико-технологiчнi основи субмiкронної технологiї ВIС СП Новосядлий Iвано-Франкiвськ: Сiмик., 351, 2003 | 11 | 2003 |
Радіаційна технологія при формуванні субмікронних структур ВІС СП Новосядлий Металофізика і новітні технології 24 (7), 1003-1013, 2002 | 11 | 2002 |
Формування кремнієвих епітаксійних структур для суміщених Ві–К–МОН і Д–МОН технологій ВІС СП Новосядлий Металофізика і новітні технології 24 (3), 353-365, 2002 | 11 | 2002 |
Багатозарядна іонно-імплантаційна обробка при формуванні кишень і металізації субмікронних структур ВІС СП Новосядлий, ВМ Бережанський Металофізика і новітні технології 29 (7), 857-866, 2007 | 9 | 2007 |
Діагностика субмікронних структур ВІС СП Новосядлий, АІ Терлецький Івано-Франківськ, Сімик, 2016 | 8 | 2016 |
Механізми формування плівок дисиліциду титану в реакторі зниженого тиску на основі аморфного кремнію СП Новосядлий Металофізика і новітні технології 23 (5), 597-608, 2001 | 7 | 2001 |
Електрофізичне діагностування надійності структур ВІС СП Новосядлий Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. Радіоелектроніка …, 1999 | 7 | 1999 |
Аналітичні фізико-хімічні методи аналізу і контролю в системній технології ВІС СП Новосядлий Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах, 30-38, 1999 | 7 | 1999 |
Термодинамічні потенціали та кінетичні властивості актуальних кристалів твердотілої електроніки ЯС Буджак, ОВ Стахів, СП Новосядлий Вісник ДУ “Львівська політехніка 325, 28-37, 1998 | 7 | 1998 |
Багатозарядна радикальна імплантація при формуванні SOI-структур СП Новосядлий, ВМ Вівчарук Фізика і хімія твердого тіла 9 (3), 659-667, 2008 | 6 | 2008 |
Технологічні особливості, формування шаруватих наноструктур СП Новосядлий, ВМ Вівчарук Східно-Європейський журнал передових технологій, 32-38, 2008 | 6 | 2008 |
Активація домішок в субмікронній технології формування структур ВІС СП Новосядлий Металофізика і новітні технології 24 (6), 774-794, 2002 | 6 | 2002 |
Тестовий контроль електрофізичних параметрів структур в системній технології високого рівня СП Новосядлий Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах 2, 58-64, 1999 | 6 | 1999 |
Моделювання субмікронної та нанотехнологій на основі ТС СП Новосядлий Східно-Європейський журнал передових технологій, 37, 2009 | 5 | 2009 |
Лабораторно-розрахунковий практикум з фізики напівпровідників та теорії твердого тіла ЯС Буджак, ПІ Мельник, СП Новосядлий Івано-Франківськ, Прикарпатський Національний університет ім. Василя Стефаника, 2007 | 5 | 2007 |
Шляхи підвищення роздільної здатності проекційної літографії СП Новосядлий Металофізика і новітні технології 24 (8), 1073-1082, 2002 | 5 | 2002 |
Сучасні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС СП Новосядлий, АІ Терлецький, ОБ Фрик Східно-Європейський журнал передових технологій–7/7 (45: 2008), 0 | 5 | |